有限要素法を使ってマイクロアクチュエータの構造解析を行っています。



各個人に机を準備します。
CADを使ってデバイスを設計したり、
オンライン文献検索などを行います。


酸素RIE装置に基板を入れて,
微細加工を行っています。



薄膜形成装置の操作風景。
ナノメートル(10-9m)スケールの
金属薄膜を形成できます。


顕微鏡を使ってマイクロデバイスの
製作具合を確認している様子。


局所排気装置を使った実験の様子。
化学薬品を使った加工や洗浄を行います。


クリーンルーム化している
イエロールームでの作業風景。
防塵着を着用して作業します。


細胞観察の様子。
培養した細胞を顕微鏡で観察します。


試薬を作っている様子。
タンパク質を使った実験に向けて,
複数の試薬を混ぜ合わせます。